Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de...
Editeur : Hermés science
Parution : 2004-05-12
Collection : Traité EGEM
Format(s) : PDF sans DRM
110,78

Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques " épaisses ", inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des...
Editeur : Hermés science
Parution : 2004-05-12
Collection : Traité EGEM
Format(s) : PDF sans DRM
110,78